本发明提供一种磁振子耦合共振型微纳称重器件与其制备方法，属于微纳电子功能器件技术领域，器件包括单晶衬底及位于单晶衬底上的短路共面波导和谐振器，谐振器位于短路共面波导的中心带与接地带之间；谐振器包括上层的压磁薄膜和下层的磁性薄膜，磁性薄膜的磁阻尼系数低于10^‑3。优选地，磁性薄膜为钇铁石榴石薄膜，单晶衬底为[111]晶向的钆镓石榴石单晶基片。本发明基于全电磁方法精确称量质量在纳克级别的物体，相较于传统悬臂梁机械振动谐振频率测试方法，本发明对测量环境真空度要求不严格，降低成本，在微波频段具有较高测试灵敏度；采用低铁磁共振线宽的磁性薄膜使谐振器整体的吸收带宽变窄，有利于提取吸收峰信号。