敏感元件、制备方法、探测组件及探测设备
实质审查的生效
摘要
本发明公开了敏感元件、制备方法、探测组件、探测设备,其中敏感元件包括顺次设置的:衬底,缓冲层,用于改善衬底与铁电薄膜之间的晶格匹配性能;铁电薄膜,铁电薄膜为锆钛酸铅层;标记电极,设置于铁电薄膜表面;蝶形天线,蝶形天线形成于所述铁电薄膜上,蝶形天线包括组件一和组件二,组件一和组件二之间形成有沟道,组件一和组件二分别电连接到两个标记电极,沟道中形成有沟道材料层,沟道材料层为二维材料形成的,沟道材料层电连接所述组件一和组件二。本发明方案突破性地利用了铁电薄膜和沟道材料层之间的异质结构,从而实现高灵敏度、低功耗的宽谱室温太赫兹探测器。
基本信息
专利标题 :
敏感元件、制备方法、探测组件及探测设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114509823A
申请号 :
CN202111369585.0
公开(公告)日 :
2022-05-17
申请日 :
2021-11-16
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
张凯阳柳董卓
申请人 :
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请人地址 :
江苏省苏州市工业园区若水路398号
代理机构 :
苏州三英知识产权代理有限公司
代理人 :
李若可
优先权 :
CN202111369585.0
主分类号 :
G01V8/10
IPC分类号 :
G01V8/10 H01Q1/00 H01Q1/22
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01V
地球物理;重力测量;物质或物体的探测;示踪物
G01V8/00
用光学装置勘探或探测
G01V8/10
探测,例如,用光垒
法律状态
2022-06-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01V 8/10
申请日 : 20211116
申请日 : 20211116
2022-05-17 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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