用于多电平脉冲的装置及包括其的基板处理装置
公开
摘要
本发明提供当利用具有多个脉冲电平的射频信号产生等离子体时，使电力反射最小化的用于多电平脉冲的装置和包括其的基板处理装置。所述装置包括：射频信号产生器，生成包括彼此不同的第一脉冲电平和第二脉冲电平的射频信号；以及匹配网络，接收所述射频信号，并向负载提供对应的输出信号，其中，所述射频信号产生器以所述第一脉冲电平的第一目标阻抗和所述第二脉冲电平的第二目标阻抗彼此不同的方式生成射频信号。
基本信息
专利标题 ：
用于多电平脉冲的装置及包括其的基板处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114566418A
申请号 ：
CN202111426087.5
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2021-11-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
朴君昊具重谟具滋明金铉镇
申请人 ：
细美事有限公司
申请人地址 ：
韩国忠清南道
代理机构 ：
北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
王达佐
优先权 ：
CN202111426087.5
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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