绝缘板及包括绝缘板的基板处理装置
公开
摘要
本发明提供一种利用等离子体的基板处理装置，该装置能够利用设置有气隙的绝缘板来控制蚀刻率。所述基板处理装置包括：腔室，包括用于利用等离子体来处理基板的处理空间；以及支承模块，位于所述处理空间内，并且用于支承所述基板，其中，所述支承模块包括：支承板，用于接收高频电力；以及绝缘板，布置在所述支承板的下部，并且包括面对所述支承板的第一表面，其中，所述第一表面上形成有至少一个第一凹槽。
基本信息
专利标题 ：
绝缘板及包括绝缘板的基板处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114566416A
申请号 ：
CN202111409104.4
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2021-11-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李东穆成珍一金秀雄
申请人 ：
细美事有限公司
申请人地址 ：
韩国忠清南道
代理机构 ：
北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
王达佐
优先权 ：
CN202111409104.4
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/67 H01B17/58
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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