供气模块及包括此的基板处理装置
实质审查的生效
摘要
本发明涉及供气模块及包括此的基板处理装置的技术。本实施例的供气模块可包括：第一模块，具有传递第一工艺气体的第一进气通道；第二模块，具有传递第二工艺气体的第二进气通道；及第三模块，使所述第一模块和所述第二模块结合，并且将通过所述第一进气通道传递的所述第一工艺气体及通过所述第二进气通道传递的所述第二工艺气体分别分开，以向与所述多个基板处理空间连接的供气线路扩散并分配。
基本信息
专利标题 ：
供气模块及包括此的基板处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114551205A
申请号 ：
CN202111291099.1
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2021-11-03
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
宋昞昊
申请人 ：
圆益IPS股份有限公司
申请人地址 ：
韩国京畿道平泽市振威面振威产团路75
代理机构 ：
北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
郑青松
优先权 ：
CN202111291099.1
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20211103
申请日 : 20211103
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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