检查装置的控制方法和检查装置
公开
摘要
本发明提供提高被检查体的温度控制性的检查装置的检查方法和检查装置。检查装置的控制方法中，上述检查装置包括：载置被检查体的卡盘；对上述被检查体供给电功率而对上述被检查体进行检查的测试器；和控制上述卡盘的温度的控制部，在上述检查装置的控制方法中，在不能进行上述被检查体的实际温度的反馈时，基于上述被检查体的发热量，推算上述卡盘的温度与上述被检查体的温度的温度差，基于上述被检查体的目标温度和上述温度差，修正上述卡盘的目标温度，基于修正后的上述卡盘的目标温度和上述卡盘的实际温度，控制上述卡盘的温度。
基本信息
专利标题 ：
检查装置的控制方法和检查装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114594809A
申请号 ：
CN202111434567.6
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2021-11-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
阿川裕晃小林将人河西繁
申请人 ：
东京毅力科创株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
龙淳
优先权 ：
CN202111434567.6
主分类号 ：
G05D23/20
IPC分类号 ：
G05D23/20 G01R1/44
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制；调节
G05D
非电变量的控制或调节系统
G05D23/00
温度的控制
G05D23/19
以使用电装置为特征的
G05D23/20
具有随温度变化而产生电或磁性质变化的传感元件
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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