微型仿生弱磁场传感器及其制备方法和磁场测试方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种微型仿生弱磁场传感器及其制备方法和磁场测试方法,其中,微型仿生弱磁场传感器包括衬底层、生物磁感应层和结构层;生物磁感应层与结构层设置在衬底层的同一侧;生物磁感应层包括叉指微电极和生物磁感应蛋白,叉指微电极附着在衬底层上,生物磁感应蛋白通过修饰固定在叉指微电极的叉指结构表面;结构层与衬底层连接,结构层具有两端开口的空腔,叉指微电极的叉指结构容置于空腔内,叉指微电极的引脚设置在衬底层上与结构层不重叠的区域,叉指微电极的引脚用于导出磁场检测信号。本发明具有灵敏度高、响应快、可实现集成化的特性,其检测性能优于现有弱磁场传感器。

基本信息
专利标题 :
微型仿生弱磁场传感器及其制备方法和磁场测试方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114415078A
申请号 :
CN202111485342.3
公开(公告)日 :
2022-04-29
申请日 :
2021-12-07
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
葛玉卿赵江贵程乾赵建龙周婷薛亚波
申请人 :
中国科学院上海微系统与信息技术研究所;上海前瞻创新研究院有限公司
申请人地址 :
上海市长宁区长宁路865号
代理机构 :
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 :
苗芬芬
优先权 :
CN202111485342.3
主分类号 :
G01R33/032
IPC分类号 :
G01R33/032  G01R33/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R33/00
测量磁变量的装置或仪器
G01R33/02
测量磁场或磁通量的方向或大小
G01R33/032
采用磁—光设备,例如法拉第的
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 33/032
申请日 : 20211207
2022-04-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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