本发明提供了一种固体材料中氚含量的测量方法，包括，S1：将被测对象置于平行电极板之间，改变电极板两端的电压参数，获取多组能谱数据；S2：计算在不同电场强度下，β射线诱发的X射线能谱数据；S3：建立多能谱组合反演模型，构建总射线能谱与不同深度的射线能谱在电场下的函数关系，基于不同电场强度下的反演模型，求解氚在不同深度的分布情况。本发明的优点在于：通过加高压的手段对测量谱进行增强，避免在测量过程中产生较大的误差，为后续的数据反演提供了保障，提高了反演计算的准确率。