准静态偏转的电热式MEMS微镜及其制作方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种准静态偏转的电热式MEMS微镜及其制作方法。该电热式MEMS微镜包括基底层、电热驱动层和镜片应用层;电热驱动层从上至下依次为高膨胀层、电阻加热层、低膨胀层,电热驱动层的一端与基底层连接,另一端可以相对于基底层进行偏转,电阻加热层通过引线连接外部电源;当电阻加热层通电发热使高膨胀层、低膨胀层吸热膨胀并产生弯曲,带动镜片应用层沿电热驱动层与基底层的连接端偏转,调节电阻加热层的电流可以控制高膨胀层、低膨胀层的温度以及镜片应用层的偏转角度。基于本发明制造的光调配器件,能够实现光线聚焦、反射、散射等多种功能,应用于多个领域,在新能源利用及绿色环保方面有着非常好的应用前景。

基本信息
专利标题 :
准静态偏转的电热式MEMS微镜及其制作方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114265197A
申请号 :
CN202111547362.9
公开(公告)日 :
2022-04-01
申请日 :
2021-12-16
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
张博伦祝方舟李庆党杨晓晖和学泰
申请人 :
青岛科技大学
申请人地址 :
山东省青岛市崂山区松岭路99号
代理机构 :
山东重诺律师事务所
代理人 :
冷奎亨
优先权 :
CN202111547362.9
主分类号 :
G02B26/08
IPC分类号 :
G02B26/08  F21S41/675  F21V14/04  F21W102/20  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置,例如,开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
法律状态
2022-04-19 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 26/08
申请日 : 20211216
2022-04-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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