准静态偏转的电热式MEMS微镜
授权
摘要
本实用新型公开了一种准静态偏转的电热式MEMS微镜，该电热式MEMS微镜包括基底层、电热驱动层和镜片应用层；电热驱动层从上至下依次为高膨胀层、电阻加热层、低膨胀层，电热驱动层的一端与基底层连接，另一端可以相对于基底层进行偏转，电阻加热层通过引线连接外部电源；当电阻加热层通电发热使高膨胀层、低膨胀层吸热膨胀并产生弯曲，带动镜片应用层沿电热驱动层与基底层的连接端偏转，调节电阻加热层的电流可以控制高膨胀层、低膨胀层的温度以及镜片应用层的偏转角度。基于本实用新型制造的光调配器件，能够实现光线聚焦、反射、散射等多种功能，应用于多个领域，在新能源利用及绿色环保方面有着非常好的应用前景。
基本信息
专利标题 ：
准静态偏转的电热式MEMS微镜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123178880.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-16
授权号 ：
CN216748279U
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
张博伦祝方舟李庆党杨晓晖和学泰
申请人 ：
青岛科技大学
申请人地址 ：
山东省青岛市崂山区松岭路99号
代理机构 ：
山东重诺律师事务所
代理人 ：
冷奎亨
优先权 ：
CN202123178880.6
主分类号 ：
G02B26/08
IPC分类号 ：
G02B26/08 F21S41/675 F21V14/04 F21W102/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
法律状态
2022-06-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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