本发明涉及一种真空封装器件内部气氛的检测方法、气密容器及检测设备。上述真空封装器件内部气氛的检测方法通过将真空封装器件置于气密容器中，并破坏真空封装器件的气密性，使真空封装器件的内部气氛与气密容器的内部气氛混合，使真空封装器件内部极少的气氛混合进足够多的气氛中。气密容器的内部气压高于真空封装器件的内部气压，可以用常规方法对混合气氛进行检测，由于气密容器的内部气氛已知，检测出混合气氛后，即能够推算出真空封装器件的内部气氛的成分及其含量。上述检测方法可以打破现有检测设备的局限，实现对真空封装器件内部气氛的定量测试，可有效支撑真空封装器件工艺的提升以及DPA、失效分析、机理分析可靠性研究等工作。