一种单晶硅生产用增加投料量的装置及其使用方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种单晶硅生产用增加投料量的装置及其使用方法,涉及单晶硅制造技术领域。本发明包括埚邦组件、埚拖组件和石英埚,埚邦组件安装在埚拖组件的上方,埚邦组件包括有埚邦主体、埚底和第一连接卡条,埚邦主体内侧的底端固定有埚底,埚底的中部开设有连接孔,且埚底的横切面形状为下凹的弧形,埚底的底端固定有若干组第一连接卡条。本发明通过对结构的设计,可根据不同规格的埚邦主体选取对应规格的加高支撑环,将加高支撑环与埚邦主体安装,能够增加装置整体的高度,进而增加装置的投料量,且成本更低,对热场影响小,受生长参数制约小,且能够方便将埚邦组件整体从埚拖组件上取下,能够便于埚邦组件整体的快速拆装。

基本信息
专利标题 :
一种单晶硅生产用增加投料量的装置及其使用方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114457421A
申请号 :
CN202111574989.3
公开(公告)日 :
2022-05-10
申请日 :
2021-12-21
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
杨昊李江峰杨阳李向宇
申请人 :
弘元新材料(包头)有限公司
申请人地址 :
内蒙古自治区包头市青山区装备制造产业园区管委会A座516室
代理机构 :
北京睿博行远知识产权代理有限公司
代理人 :
王建文
优先权 :
CN202111574989.3
主分类号 :
C30B29/06
IPC分类号 :
C30B29/06  C30B35/00  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/02
元素
C30B29/06
法律状态
2022-05-27 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 29/06
申请日 : 20211221
2022-05-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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