有利于增加直拉单晶硅棒氧含量的加热器

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摘要

本实用新型公开了一种有利于增加直拉单晶硅棒氧含量的加热器，属于单晶硅生产设备技术领域。包括加热器本体，所述加热器本体由若干加热片首尾依次连接而成，所述加热片上端的横截面积大于下端的横截面积。本实用新型技术方案通过改变传统加热器结构，减小所述加热片底端的横截面积，在同等电流状态下，所述加热片底端由于横截面积小，故而在所述加热器本体的底端提供较高的加热功率，从而使得石英坩埚的底部弧角处受热增强，对于相同体积的硅业，在石英坩埚的底部弧角处释放出的氧增多，实现在不改变液位线温度、不改变拉制氛围的状态下增加单晶硅硅棒的氧含量。直拉单晶拉晶后，整体硅棒氧含量增加1个ppm以上。

基本信息

专利标题：

有利于增加直拉单晶硅棒氧含量的加热器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920964536.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-06-25

授权号：

CN210104123U

授权日：

2020-02-21

发明人：

丁亚国梁万亮马国忠顾燕滨河野贵之

申请人：

宁夏银和新能源科技有限公司

申请人地址：

宁夏回族自治区银川市西夏区光明西路25号

代理机构：

宁夏合天律师事务所

代理人：

郑重

优先权：

CN201920964536.3

主分类号：

C30B15/00

IPC分类号：

C30B15/00 C30B29/06