本发明提供了一种芯片引脚共面度测量方法和装置，该方法先将图像采集设备的拍摄方向、基准面、光源发出的光线方向位于同一水平线后，再打开光源对当前待测芯片的待测面进行拍摄，得到第一图像信息；而后通过处理设备对第一图像信息并进行分析，判断待测芯片是否合格。当芯片引脚共面度不符合要求时，通过将第一图像信息与合格标准信息进行比较就可以及时检测得出，而后可以对不合格的待测芯片进行处理，保证后续环节的顺利进行，有效提升产品的良率。