共面集成电路芯片微波探针
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明是用于在片检测共面集成电路芯片电学特性的信号传输装置。其中,探针板下表面装有信号线１５，正面地线１６，导电触头１９，上表面装有背面地线８，所有地线及导电金属模板２通过低温金属焊料和导电丝电接通。导电触头由软金属内包一硬金属球构成。绝缘介质柱７下端为一半柱面台阶状，其中的中心导线３与信号线１５用低温金属焊料４电接通。本发明具有插入和反射损耗小、带宽增加、特征阻抗均匀连续、降低地回路中射频电感、导电触头耐用不损坏芯片等优点。
基本信息
专利标题 ：
共面集成电路芯片微波探针
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1095483A
申请号 ：
CN94102728.7
公开（公告）日 ：
1994-11-23
申请日 ：
1994-03-15
授权号 ：
CN1036945C
授权日 ：
1998-01-07
发明人 ：
孙伟衣茂斌田小建
申请人 ：
吉林大学
申请人地址 ：
130023吉林省长春市解放大路83号
代理机构 ：
吉林大学专利事务所
代理人 ：
王恩远
优先权 ：
CN94102728.7
主分类号 ：
G01R15/00
IPC分类号 ：
G01R15/00 G01R1/067
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R15/00
包含在G01R17/00至G01R29/00、G01R33/00至G01R33/26或G01R35/00组中的各种测量装置的零部件
法律状态
2004-05-19 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1998-01-14 ：
其他有关事项
事项 : 发出的手续合格通知书无效
1998-01-07 ：
授权
1994-11-23 ：
公开
1994-11-16 ：
实质审查请求的生效
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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2、
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