一种连续式镀膜设备基片架
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种连续式镀膜设备基片架,包括循环导轨,其与支架固定连接,所述循环导轨内侧设置有齿条;滑块机构,其可移动的设置在循环导轨上,所述滑块机构包括对称设置在循环导轨两侧的侧板,所述侧板之间通过下部的底板连接,所述底板上设置有用于驱动滑块机构沿循环导轨往复运动的第一电机。本发明通过设置能够沿循环导轨往复运动的滑块机构,并且每个滑块机构上均设置有独立的驱动电机,在相应位移传感器和位移的导轨的作用下,驱动电机驱动相应的滑块机构紧密跟随且贴合到前方的滑块机构上,使得在镀膜过程中,相邻的滑块机构之间没有间隙,从阴极溅射的膜层仅仅落在玻璃上,而不会在其他部件上累积,从根本上解决了膜层堆积的缺陷。
基本信息
专利标题 :
一种连续式镀膜设备基片架
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114427082A
申请号 :
CN202111628904.5
公开(公告)日 :
2022-05-03
申请日 :
2021-12-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
倪值森陈诚赵琰张见平吴俊保
申请人 :
凯盛信息显示材料(黄山)有限公司
申请人地址 :
安徽省黄山市休宁县经济开发区高新电子信息产业园孵化器
代理机构 :
昆明合众智信知识产权事务所
代理人 :
朱世新
优先权 :
CN202111628904.5
主分类号 :
C23C14/50
IPC分类号 :
C23C14/50 C23C14/34 C23C14/56
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/50
申请日 : 20211228
申请日 : 20211228
2022-05-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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