一种晶粒挑选方法、装置、电子设备和存储介质
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种晶粒挑选方法、装置、电子设备和存储介质。该方法包括:确定晶粒图像包括的至少两个图像分区,并依据所述至少两个图像分区内待选晶粒生成定位标记;根据各所述定位标记刷新对应所述图像分区内所述待选晶粒的晶粒位置;根据预设挑选顺序和所述晶粒位置在所述至少两个图像分区内挑选晶粒。本发明实施例,通过根据各定位标记刷新对应图像分区内待选晶粒的晶粒位置,根据预设挑选顺序和晶粒位置在至少两个图像分区内挑选晶粒,实现了晶粒的快速挑选,在一定程度上降低了蓝膜形变对晶粒挑选的影响,从而提高晶粒挑选的准确性。

基本信息
专利标题 :
一种晶粒挑选方法、装置、电子设备和存储介质
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114496844A
申请号 :
CN202111654015.6
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2021-12-30
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
杨美高杨少刚范浩
申请人 :
深圳市八零联合装备有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市宝安区松岗街道楼岗社区大洋工业区南1号厂房104
代理机构 :
北京品源专利代理有限公司
代理人 :
王瑞云
优先权 :
CN202111654015.6
主分类号 :
H01L21/67
IPC分类号 :
H01L21/67  H01L21/68  G06T1/00  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20211230
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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