一种晶粒合档方法、装置、电子设备和存储介质
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种晶粒合档方法、装置、电子设备和存储介质。该方法包括:根据预设分区尺寸将点测晶粒划分到至少两个区域块;在所述至少两个区域块中按照预设晶粒选择顺序将点测数据集和扫描数据集进行合档。本发明实施例,通过在至少两个区域块中按照预设晶粒选择顺序将点测数据集和扫描数据集进行合档,实现了晶粒数据的准确合档,降低设备的内存空间占用,提高了晶粒合档效率,从而提高了芯片生产的稳定性。
基本信息
专利标题 :
一种晶粒合档方法、装置、电子设备和存储介质
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114345732A
申请号 :
CN202111659304.5
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2021-12-30
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
杨少刚杨美高蒋振斌
申请人 :
深圳市八零联合装备有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市宝安区松岗街道楼岗社区大洋工业区南1号厂房104
代理机构 :
北京品源专利代理有限公司
代理人 :
潘登
优先权 :
CN202111659304.5
主分类号 :
B07C5/04
IPC分类号 :
B07C5/04 B07C5/36 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B07
将固体从固体中分离;分选
B07C
邮件分拣;单件物品的分选,或适于一件一件地分选的散装材料的分选,如拣选
B07C5/00
按照物品或材料的特性或特点分选,例如用检测或测量这些特性或特点的装置进行控制;用手动装置,例如开关,来分选
B07C5/04
根据大小来分选
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B07C 5/04
申请日 : 20211230
申请日 : 20211230
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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