一种金属化孔薄膜电路及其制备方法
实质审查的生效
摘要

本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种金属化孔薄膜电路及其制备方法。本发明提供的金属化孔薄膜电路的制备方法,通过进行单独金属化,延长工序,不限制单工序产能负担,使得生产产能与无金属化孔生产产能一致,该方面可以正式应用于产业化,工艺余量较大,较容易进行大批量化工艺生产;再者,通过单独对孔进行金属化处理,减少同时金属金属化孔其他刻蚀工艺的影响,提高了薄膜电路金属孔的耐温性;由于本发明使用夹具为通用夹具,相对于选择性电镀利用光刻夹具(每种金属化孔图形都需要做一种夹具)而言,本发明能够在不使用夹具基础上,满足现有设计规则要求的金属化孔制备。

基本信息
专利标题 :
一种金属化孔薄膜电路及其制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114334808A
申请号 :
CN202111659807.2
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2021-12-30
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
程吉霖聂源钟怀磊刘旭
申请人 :
成都亚光电子股份有限公司
申请人地址 :
四川省成都市成华区东虹路66号
代理机构 :
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 :
吴晓静
优先权 :
CN202111659807.2
主分类号 :
H01L21/768
IPC分类号 :
H01L21/768  C23C14/06  C23C14/18  C23C14/35  C23C28/00  C25D3/48  C25D5/02  C25D7/00  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/70
由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L21/71
限定在组H01L21/70中的器件的特殊部件的制造
H01L21/768
利用互连在器件中的分离元件间传输电流
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/768
申请日 : 20211230
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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