本发明涉及太赫兹器件的技术领域，具体为一种用于太赫兹功能器件的设计方法及装置，该方法包括以下内容：获取技术要求，根据技术要求和预设的器件模板生成器件基本框图；获取结构参数，以及结构参数对应的最优数值；根据最优数值和器件基本框图进行数值模拟验证，若验证通过，则根据最优数值和器件基本框图进行器件加工；根据技术要求对加工后的器件进行性能测试，若性能测试未通过，则对最优数值、数值模拟验证、器件加工进行分析，根据分析结果优化最优数值、数值模拟验证、器件加工中的一种或多种，直到性能测试通过。采用本方案，能够解决现有技术中设计太赫兹功能器件耗时长、成本高、成功率低的技术问题。