四吋PSS衬底产量的提升方案
实质审查的生效
摘要
本公开提供了一种四吋PSS衬底产量的提升方案，包括以下步骤：步骤一，黄光PR图形；步骤二，制备九片盘刻蚀工艺载盘；步骤三，检验九片盘刻蚀工艺载盘是否满足工艺的需求指标；步骤四，利用九片盘刻蚀工艺载盘生产四时的PSS衬底。本公开的方法通过增加刻蚀工序每盘工艺片数，在相同数目机台的情况下，增加四时的PSS衬底的产量。
基本信息
专利标题 ：
四吋PSS衬底产量的提升方案
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114361309A
申请号 ：
CN202111682942.9
公开（公告）日 ：
2022-04-15
申请日 ：
2021-12-31
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
朱景春
申请人 ：
安徽光智科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省滁州市琅琊经济开发区南京路100号
代理机构 ：
北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张向琨
优先权 ：
CN202111682942.9
主分类号 ：
H01L33/20
IPC分类号 ：
H01L33/20 H01L33/00 H01L21/027 H01L21/033
法律状态
2022-05-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 33/20
申请日 : 20211231
申请日 : 20211231
2022-04-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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