一种半导体晶圆铝压焊点键合结构
授权
摘要

本实用新型公开了一种半导体晶圆铝压焊点键合结构,涉及半导体技术领域,包括基板和半导体晶圆,还包括铜线,半导体晶圆通过固晶胶安装在基板的表面,半导体晶圆上键合有铝层,铝层上设置有用于保护半导体晶圆的金属介质部件,基板的表面设置有引脚焊点,金属介质部件从内向外依次包括镍层、钯层和金层,还包括钯金层,钯金层敷设在铜线的表面,具备了通过在铝层和铜线之间设置有镍层、钯层和金层,能够有效隔离了铝层与铜线,避免铜线与铝层直接接触,对铝键合面及其半导体晶圆起到很好的保护作用,通过在铜线的表面敷设钯金层,焊接过程中不发生氧化反应,不需要增加保护气体,加强了抗氧化性能,降低了生产成本的效果。

基本信息
专利标题 :
一种半导体晶圆铝压焊点键合结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202121918918.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-08-17
授权号 :
CN216624262U
授权日 :
2022-05-27
发明人 :
叶林旺
申请人 :
江苏威森美微电子有限公司
申请人地址 :
江苏省盐城市滨海县城人民南路东侧、上海路北侧
代理机构 :
盐城博思维知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
邢腾
优先权 :
CN202121918918.6
主分类号 :
H01L23/488
IPC分类号 :
H01L23/488  H01L23/49  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L23/00
半导体或其他固态器件的零部件
H01L23/48
用于向或自处于工作中的固态物体通电的装置,例如引线或接线端装置
H01L23/488
由焊接或黏结结构组成
法律状态
2022-05-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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