一种Z轴加速度计
授权
摘要
本实用新型提供一种Z轴加速度计，其包括：衬底；质量块，其悬置于所述衬底上方，且所述质量块被分界线划分为第一区域和第二区域，其中，所述质量块的第一区域和第二区域关于所述分界线对称分布，所述质量块的第一区域和第二区域的厚度不一致，以使所述质量块的第一区域和第二区域的质量不同，从而使所述质量块以所述分界线为轴发生类似跷跷板式运动。与现有技术相比，本实用新型不仅有效的节省了芯片面积，降低了成本，而且还大大提升了抗外界干扰能力，进而提高Z轴检测精度。
基本信息
专利标题 ：
一种Z轴加速度计
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202121928408.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-08-17
授权号 ：
CN216595182U
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
凌方舟丁希聪蒋乐跃刘尧
申请人 ：
美新半导体（无锡）有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新辉环路2号
代理机构 ：
苏州简理知识产权代理有限公司
代理人 ：
庞聪雅
优先权 ：
CN202121928408.7
主分类号 ：
G01P15/08
IPC分类号 ：
G01P15/08 B81B5/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P15/00
测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
法律状态
2022-05-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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