一种半导体材料加工用除尘装置
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摘要

本实用新型涉及除尘装置技术领域,且公开了一种半导体材料加工用除尘装置,包括支撑架。本实用新型通过在除尘布袋内设置有转动柱和刷毛,且在转动柱的顶端固定有转动齿轮,在齿轮箱的内部设置有齿轮带,在齿轮带的一端啮合连接有辅助齿轮,在辅助齿轮的中心位置固定有转动轴,以及在电机箱内固定有电机,通过电机和转动轴的配合带动辅助齿轮和齿轮带进行转动,并带动转动齿轮进行转动,从而使转动柱和刷毛在除尘布袋内进行转动清灰工作,通过在净气室内设置有多个喷气管,在喷气管的尾端连接有气流管,在气流管的侧面连接导气管,能够对除尘布袋进行喷气清灰工作,通过刷毛转动清灰和喷气清灰相结合,大大提高了除尘布袋粉尘的清理效果。

基本信息
专利标题 :
一种半导体材料加工用除尘装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122307501.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-09-23
授权号 :
CN216170732U
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
张振飞
申请人 :
上海冠雄半导体科技有限公司
申请人地址 :
上海市闵行区七莘路889号2幢
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202122307501.2
主分类号 :
B01D46/04
IPC分类号 :
B01D46/04  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D46/00
专门用于把弥散粒子从气体或蒸气中分离出来的经过改进的过滤器和过滤方法
B01D46/02
由挠性材料制成的空心滤器的粒子分离器,例如聚尘器
B01D46/04
清洗过滤器
法律状态
2022-04-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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