一种半导体材料研磨加工装置
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摘要

一种半导体材料研磨加工装置,包括底座,所述的底座上设有研磨箱体,研磨箱体的其中一个侧面为开口面,与开口面相对的侧面上设有条形开口,条形开口中设有能够在条形开口内上下移动的升降板,升降板上设有电机,电机的转轴竖直向下设置且电机的转轴上设有研磨轮;底座上设有立柱与伸缩杆,立柱与伸缩杆分别设置在研磨箱体两侧,立柱的上端与伸缩杆的上端分别铰接连接调节杆两端,调节杆中部连接升降板位于研磨箱体外的一面;电机正下方的底座上设有夹持机构。采用上述结构,能够对半导体材料进行有效夹持固定,并在完成一面的研磨作业之后,实现半导体材料的快速翻转,省去人工拆装半导体材料的步骤,提高了半导体材料的加工效率。

基本信息
专利标题 :
一种半导体材料研磨加工装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921857102.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-31
授权号 :
CN210909501U
授权日 :
2020-07-03
发明人 :
李国琪
申请人 :
湖北方晶电子科技有限责任公司
申请人地址 :
湖北省宜昌市秭归县茅坪镇建东大道197号
代理机构 :
宜昌市慧宜专利商标代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
夏冬玲
优先权 :
CN201921857102.X
主分类号 :
B24B37/00
IPC分类号 :
B24B37/00  B24B37/27  B24B37/34  B24B47/12  B24B41/02  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置;附件
法律状态
2020-07-03 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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