一种半导体材料研磨抛光机
授权
摘要

本实用新型公开了一种半导体材料研磨抛光机,包括底座,所述底座的上端面对称固定连接有两个竖板,两个所述竖板相对的一侧均设置有抛光机构,两个所述竖板相对的一侧对称设置有两个夹持机构,每个所述夹持机构均包括两个限位板,两个所述限位板对称固定安装在两个竖板的侧壁上,每个所述限位板上均开设有限位滑孔。本实用新型,将半导体材料放置在两个夹块之间,然后启动伺服电机,伺服电机通过输出端带动抛光机本体转动,进而带动蜗轮转动,蜗轮带动转动杆转动,使得螺纹块可以在螺纹段上相对的运动,两个螺纹块通过滑板带动两个夹块对中间不同厚度的半导体材料进行夹持,扩大了该抛光机的适用性。

基本信息
专利标题 :
一种半导体材料研磨抛光机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020667817.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-28
授权号 :
CN212287204U
授权日 :
2021-01-05
发明人 :
吴明
申请人 :
重庆秉穗科技有限公司
申请人地址 :
重庆市九龙坡区石坪桥正街116号6幢13-5
代理机构 :
重庆嘉禾共聚知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
吴迪
优先权 :
CN202020667817.5
主分类号 :
B24B37/08
IPC分类号 :
B24B37/08  B24B37/28  B24B37/34  B24B47/00  B24B47/22  B24B47/12  B24B55/06  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置;附件
B24B37/04
适用于加工平面的
B24B37/07
以工件或研具的运动为特征
B24B37/08
用于双侧研磨
法律状态
2021-01-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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