一种半导体材料研磨抛光设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体材料研磨抛光设备,包括两个底座,两个所述底座上均设有滑槽,所述滑槽内滑动连接有支撑架,所述底座上设有用于震动支撑架的震动机构,所述支撑架上通过转轴转动连接有转桶,所述支撑架右侧壁设有第一电机,所述第一电机的输出轴贯穿支撑架并与转轴固定连接,所述转桶内转动连接有两根安装杆,两根所述安装杆上均设有多根打磨杆,多根所述打磨杆上均设有条形腔,所述条形腔内设有用于连接打磨杆与安装杆的卡接机构,所述抛转桶内固定连接有倾斜设置的分隔板,所述分隔板左右两侧均固定连接有与抛转桶内壁固定连接的滤网。本实用新型结构合理,其可以自动分离抛光后的半导体材料,方便更换用来研磨抛光的材料。
基本信息
专利标题 :
一种半导体材料研磨抛光设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021787710.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-25
授权号 :
CN213561877U
授权日 :
2021-06-29
发明人 :
王刚
申请人 :
王刚
申请人地址 :
安徽省马鞍山市花山区湖南西路8号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202021787710.0
主分类号 :
B24B31/02
IPC分类号 :
B24B31/02 B24B31/12 B24B31/16 B24B19/22
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B31/00
用工件或磨料散放在滚筒内的滚磨装置或其他装置进行工件表面抛光或研磨的机床或装置;及其附件
B24B31/02
使用旋转滚筒
法律状态
2021-06-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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