一种半导体加工用除尘装置
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摘要
本实用新型涉及一种半导体加工用除尘装置,包括除尘筒，除尘筒的一侧连接有沉淀池，进风口的下方设有收集板，导向杆的中部一体化设有摩擦层，滑杆的一侧设有拉绳，滑杆的一侧设有顶杆，除尘筒的一侧设有PLC控制装置，粉尘气体从进风口进入除尘筒内后，喷淋组件可对气体进行喷淋除尘，使得泥渣落至收集板上，当收集板上的泥渣量达到第一压力感应器的预定值时，卷绕电机立即被启动，通过卷绕拉绳，使得滑杆向压缩压簧的方向移动，从而使得弧形卡块与摩擦层分离，收集板开始下移，当收集板下落至挡块的顶部时，顶杆开始抵压第二压力感应器，液压缸立即被启动，通过推动推板以达到将收集板上沉淀的泥渣快速推至排料口处的目的，省时省力。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体加工用除尘装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122759149.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-11
授权号 ：
CN216358916U
授权日 ：
2022-04-22
发明人 ：
初亚东王娟李孟泽赵立群刘杰白树军周皓卢锴王晓娜李清霞
申请人 ：
河南启昂半导体有限公司
申请人地址 ：
河南省信阳市固始县陈淋子镇史河湾产业集聚区19号
代理机构 ：
郑州宏海知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
白林坡
优先权 ：
CN202122759149.6
主分类号 ：
B01D50/60
IPC分类号 ：
B01D50/60
法律状态
2022-04-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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