一种硅片制备旋转式酸洗装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种硅片制备旋转式酸洗装置,并排设置有多个工位,工位包括盛装箱、部件箱和管道箱,盛装箱的下侧设置有部件箱,盛装箱和部件箱通过分隔板相互分隔,盛装箱和部件箱的一侧设置有管道箱,支撑杆的中部固定连接有第一喷头,第二导管的另一端与第二喷头的一端相连通,分隔板的中部设置有支撑筒,支撑筒的下端固定连接有从动齿轮,部件箱的内部一侧设置有驱动电机,驱动电机的驱动轴端部固定连接有主动齿轮,主动齿轮与从动齿轮相互啮合,转动并推动支撑杆,对第一喷头的角度和位置进行调整,通过多工位的设置,使得装置在同一时间对不同规格、数量众多的硅片进行酸洗,从而极大地提高了工作效率。

基本信息
专利标题 :
一种硅片制备旋转式酸洗装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122331257.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-09-23
授权号 :
CN216174622U
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
戴立新冯立康方明戴薇朱计生戴劲
申请人 :
黄山市七七七电子有限公司
申请人地址 :
安徽省黄山市祁门县华杨工业园
代理机构 :
合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
韩立峰
优先权 :
CN202122331257.3
主分类号 :
B08B3/02
IPC分类号 :
B08B3/02  B08B3/08  B08B13/00  H01L21/67  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2022-04-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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