一种硅片热水洗槽
授权
摘要
本实用新型涉及一种硅片热水洗槽，用于清洗放置在花篮中的硅片，包括：主体；设置在所述主体内的水洗腔体和回流水腔体，所述水洗腔体内设有溢流板，所述溢流板与所述主体的侧壁之间设有间隙，所述间隙内设有回流通道，所述回流通道与所述回流水腔体连通；水位控制组件，所述水位控制组件的入水端与所述水洗腔体连通，所述水位控制组件的出水端与所述回流水腔体连通。本实用新型的一种硅片热水洗槽在水洗完毕后，通过水位控制组件将水洗腔体内的水缓慢运输至回流水腔体内，在此过程中，水与硅片、花篮因张力作用脱离表面，使得机械爪在搬运其至烘干槽内时，其表面没有残留的水分，从而达到了干湿分离的目的，避免了烘干槽能耗增加的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片热水洗槽
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122371056.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-28
授权号 ：
CN216213502U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
王世贤戴军吴廷斌杨欣赵东旭
申请人 ：
元能微电子科技南通有限公司
申请人地址 ：
江苏省南通市开发区驰程路66号
代理机构 ：
苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王广浩
优先权 ：
CN202122371056.6
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L21/67
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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