一种光学膜厚监控系统
授权
摘要
本实用新型涉及一种光学膜厚监控系统，所述监控光路的光源发射端和/或光接收端具有角度调整机构，所述角度调整机构使所述光源发射端的光发射角度和/或所述光接收端的光接收角度可调且构成位置对应匹配。本实用新型的优点是：1）可显著改善光路的透过干涉问题，提高成膜直接检测的检测精度；2）适应性强，监控精度高，可适用于多种类型的镀膜伞架和多种面形的镀膜产品；3）可实现镀膜产品膜厚均匀性的检测，并可根据检测结果对成膜工艺进行相应调整，进而可提高镀膜产品的质量；4）结构简单合理，使用方便，可根据监测对象及监测位置对监控光路进行快速且高精度地进行调整；5）自动化程度高，便于自动化控制的实施，适于推广。
基本信息
专利标题 ：
一种光学膜厚监控系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122390742.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-30
授权号 ：
CN216206055U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
徐波薛聪颖李卫涛张新银展大伟杨得成龙汝磊汪洋
申请人 ：
光驰科技（上海）有限公司
申请人地址 ：
上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267号
代理机构 ：
上海申蒙商标专利代理有限公司
代理人 ：
周宇凡
优先权 ：
CN202122390742.8
主分类号 ：
G01B11/06
IPC分类号 ：
G01B11/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/06
用于计量厚度
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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