一种光学镀膜偏振光谱监控系统
专利权的终止
摘要
本发明为涉及光学真空镀膜机的监控系统领域，实现在光学薄膜的实际使用角度下对偏振光谱特性进行直接和实时的监控，结构上包括光学镀膜机、监控光路系统和监控仪，监控光线从光源出发，经过光学镀膜机中的滤光片和监控光路进入监控仪，监控仪根据监控光信号来控制光学薄膜膜厚，所述滤光片与监控光线成夹角A，夹角A等于滤光片实际使用中与光线的夹角，监控光路系统中设有棱镜，棱镜光轴与入射光的夹角只允许监控光线的S偏振态或P偏振态的光出射至监控仪。
基本信息
专利标题 ：
一种光学镀膜偏振光谱监控系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1752276A
申请号 ：
CN200510100734.8
公开（公告）日 ：
2006-03-29
申请日 ：
2005-10-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
江绍基潘洪昌张甫光汪河洲
申请人 ：
中山大学
申请人地址 ：
510275广东省广州市新港西路135号
代理机构 ：
广州粤高专利代理有限公司
代理人 ：
禹小明
优先权 ：
CN200510100734.8
主分类号 ：
C23C14/54
IPC分类号 ：
C23C14/54 G01B11/06
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/54
镀覆工艺的控制或调节
法律状态
2016-12-14 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101692420254
IPC(主分类) : C23C 14/54
专利号 : ZL2005101007348
申请日 : 20051027
授权公告日 : 20080827
终止日期 : 20151027
号牌文件序号 : 101692420254
IPC(主分类) : C23C 14/54
专利号 : ZL2005101007348
申请日 : 20051027
授权公告日 : 20080827
终止日期 : 20151027
2008-08-27 ：
授权
2006-05-24 ：
实质审查的生效
2006-03-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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