一种防指纹光学薄膜镀膜设备
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摘要
本实用新型公开一种防指纹光学薄膜镀膜设备，包括真空室腔体、工转架、蒸发器、蒸发电源、流量阀、温控器、真空计、残余气体分析仪、膜厚仪和控制单元，在真空室腔体内的上部设置一可转动的工转架用于承载镜片，在真空室腔体内的下部设有惰性气体管道和蒸发器，膜厚仪安装在真空室腔体外且探头伸入真空室腔体内的工转架中，真空计、残余气体分析仪和温控器安装在真空室腔体的侧壁上，蒸发器与安装在真空室腔体外的蒸发电源连接，惰性气体管道通过真空室腔体外的流量阀与供气管道连接，蒸发电源、流量阀、温控器、真空计、残余气体分析仪和膜厚仪都与控制单元连接。此设备可镀制耐划伤、超硬质防指纹光学薄膜。
基本信息
专利标题 ：
一种防指纹光学薄膜镀膜设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020110952.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-17
授权号 ：
CN211284520U
授权日 ：
2020-08-18
发明人 ：
王为城
申请人 ：
厦门立扬光学科技有限公司
申请人地址 ：
福建省厦门市海沧新阳工业区翁角路782号
代理机构 ：
厦门市精诚新创知识产权代理有限公司
代理人 ：
李宁
优先权 ：
CN202020110952.X
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/54 G02B1/10
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2020-08-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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