卧式镀膜设备
专利权的终止
摘要

本实用新型公开了卧式镀膜设备,包括辅助装置和镀膜装置,镀膜装置与辅助装置相互连接,壳体的上端安装了防爆层,在真空加热条件下,箱体很容易因为内外气压相差太大而引起爆炸,防爆层可以使真空箱内达到稳定状态,既可以让机器能够正常运行,同时也保证了技术人员的安全,密封毛条分别安装在密封毛条槽的两侧,密封毛条在关闭门进行关闭时,能够有效地起到密封作用,防止箱体因密封不强而出现不纯气体,进而影响镀膜效果,固定阀分别安装在圆环的两侧,可以进行简单的安装与拆卸,方便技术人员进行清洗,抓手安装在液压杆的一侧,吸附层安装在垫层的上端,抓手与吸附层相互配合,可以让基片放置的更加稳固,增大了基片镀膜的稳定性与均匀性。

基本信息
专利标题 :
卧式镀膜设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922280201.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-18
授权号 :
CN211227305U
授权日 :
2020-08-11
发明人 :
彭杰真
申请人 :
深圳市山禾乐科技开发有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市龙华新区观澜街道凹背社区大富工业区11号鹏龙蟠高科技园C栋三楼南
代理机构 :
深圳市远航专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
张朝阳
优先权 :
CN201922280201.2
主分类号 :
C23C14/24
IPC分类号 :
C23C14/24  C23C14/56  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2021-11-26 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : C23C 14/24
申请日 : 20191218
授权公告日 : 20200811
终止日期 : 20201218
2020-08-11 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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