微机电系统惯性器件的惯性测试装置
授权
摘要
本实用新型提供一种微机电系统惯性器件的惯性测试装置，其包括：离心机，其包括离心机转轴和离心机样品台，离心机转轴受控转动；离心机样品台固定于离心机转轴的一端；三轴定位基座，其固定于离心机样品台上；测试板，其用于放置参考惯性器件和若干待测微机电系统惯性器件，测试板可拆卸的固定于三轴定位基座的不同面，以实现对放置于所述测试板上的惯性器件在三个轴上运动方向的切换；上位机，其与离心机通信连接，以控制离心机转轴转动；上位机与测试板通信连接，当离心机转轴受控转动时，参考惯性器件和若干待测微机电系统惯性器件输出实际测量的加速度数据至上位机。与现有技术相比，本实用新型可以对微机电系统惯性器件进行高精度、高效率的的测试。
基本信息
专利标题 ：
微机电系统惯性器件的惯性测试装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122445386.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-09
授权号 ：
CN216303267U
授权日 ：
2022-04-15
发明人 ：
柯亮林武李妍君金羊华
申请人 ：
美新半导体（天津）有限公司
申请人地址 ：
天津市自贸试验区（空港经济区）西三道158号金融中心4-501室
代理机构 ：
苏州简理知识产权代理有限公司
代理人 ：
庞聪雅
优先权 ：
CN202122445386.5
主分类号 ：
B81C99/00
IPC分类号 ：
B81C99/00 G01P21/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81C
专门适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备
B81C99/00
本小类其他各组中不包括的技术主题
法律状态
2022-04-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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