一种MEMS柔性引线键合设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种MEMS柔性引线键合设备，涉及到引线键合领域，包括设备主体，所述设备主体的一端内壁上设置有活动组件，所述活动组件上设置有夹板，所述夹板的一侧中部固定连接有连接杆，所述设备主体的一侧一端开设有线性空槽，所述连接归纳的一端贯穿线性空槽并延伸至设备主体的外侧。本实用新型通过在设备主体上设置有活动组件，活动组件上的夹板通过连接杆现行空槽内的压板配合能够将夹板移动的一个方向进行限位，活动组件本身能够将夹板移动的另一个方向快速限位，提高了夹板安装基板的效率，同时提高了本装置安装不同大小基板的效率，进而提高了本装置的工作效率。
基本信息
专利标题 ：
一种MEMS柔性引线键合设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122474907.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-14
授权号 ：
CN216435848U
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
任强朱丰张琦王晓朋
申请人 ：
浙江芯动科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省嘉兴市南湖区亚中路551号2号楼1层101室
代理机构 ：
嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
熊亮亮
优先权 ：
CN202122474907.X
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 B81B7/02 B81C1/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-05-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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