缓冲型引线键合装置
授权
摘要

本实用新型涉及一种缓冲型引线键合装置,涉及半导体制造设备技术领域,旨在解决在键合设备将引线键合于基板上时,其键合设备底部与基板抵接的键合头易发生震动,其抵接位置与抵接状态均会发生变化,降低其键合质量,其包括机体、基座及键合组件,键合组件包括顶部架体及在顶部架体底壁安装的键合杆,键合杆中沿其轴向开设有引线槽,在键合杆的底部连接有键合头,键合头中心开孔与引线槽贯通设置,在键合头上设有驱动键合头沿竖直方向运动的驱动装置,并且键合头与伸缩杆之间连接有缓冲装置,本实用新型能够在键合设备将引线键合于基板上时,能够减少键合设备底部与夹板抵接的键合头的震动,从而提升其键合质量。

基本信息
专利标题 :
缓冲型引线键合装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920610048.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-29
授权号 :
CN209766361U
授权日 :
2019-12-10
发明人 :
李鹏飞郑阔王优
申请人 :
西安国是电子科技有限公司
申请人地址 :
陕西省西安市航天基地飞天路588号北航科技园2号楼4-501
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201920610048.2
主分类号 :
H01L21/60
IPC分类号 :
H01L21/60  H01L21/683  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/02
半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21/04
至少具有一个跃变势垒或表面势垒的器件,例如PN结、耗尽层、载体集结层
H01L21/50
应用H01L21/06至H01L21/326中的任一小组都不包含的方法或设备组装半导体器件的
H01L21/60
引线或其他导电构件的连接,用于工作时向或由器件传导电流
法律状态
2019-12-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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