一种三维形貌测量的光路结构
授权
摘要
本实用新型公开了一种三维形貌测量的光路结构，包括一个半导体激光器、分束镜、第一成像物镜、第二成像物镜、第一位置探测器和第二位置探测器；半导体激光器发射的激光光束经分束镜分束后形成第一激光光束和第二激光光束；第一激光光束和第二激光光束满足空间正交，且两束激光入射至待测表面上的同一点；待测表面反射两束光分别至第一成像物镜、第二成像物镜上，经聚焦后分别入射第一位置探测器和第二位置探测器。本实用新型通过一个半导体激光器形成两束激光光束，两束激光光束入射待测表面的同一点，通过两个位置敏感探测器得到同一点的两个方向上的位置信息，再将数据分解为测量区域的相对高度与测量面的空间倾斜方向，测量的精度更高、成本低，易于推广。
基本信息
专利标题 ：
一种三维形貌测量的光路结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122485982.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-15
授权号 ：
CN216745971U
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
不公告发明人
申请人 ：
高视科技（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市高新区嘉陵江路198号11幢
代理机构 ：
北京远大卓悦知识产权代理有限公司
代理人 ：
韩玲
优先权 ：
CN202122485982.6
主分类号 ：
G01B11/24
IPC分类号 ：
G01B11/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2022-06-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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