一种面板蚀刻装置
授权
摘要
本实用新型公开一种面板蚀刻装置，涉及面板加工技术领域。该面板蚀刻装置包括下电极、连接在所述下电极上的陶瓷件、定位件和支撑件，下电极上放置有面板，定位件设在面板的外侧以定位面板，支撑件支撑在定位件和陶瓷件之间，以支撑件的轴线为界，支撑件靠近下电极的一侧宽度逐渐减小。该面板蚀刻装置能够较好地避免蚀刻产生的异物积累到定位件上的现象发生，从而保证定位精度。
基本信息
专利标题 ：
一种面板蚀刻装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122664125.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-02
授权号 ：
CN216213292U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
刘洋
申请人 ：
乐金显示光电科技（中国）有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市高新技术产业开发区科学城开泰大道59号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
刘国萍
优先权 ：
CN202122664125.2
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
