一种检测硅片灰尘计数设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种检测硅片灰尘计数设备,包括底部检测箱,所述底部检测箱上表面任意一侧中部位置贯穿固定连接有第二固定连接块,所述底部检测箱上表面中部位置固定连接有限位滑轨,所述限位滑轨与第二固定连接块呈垂直设置,所述限位滑轨上表面位置设置有固定调节装置,所述固定调节装置包括检测基座,所述限位滑轨位置滑动连接有滑座,且滑座上表面与检测基座转动连接,所述检测基座上表面位置设置有凹槽,且凹槽内设置有待测硅片,所述检测基座上表面位于待测硅片两侧位置开设有两个对称设置的取放孔,通过取放孔方便取放待测硅片。本实用新型可以使得清洗后的硅片进行抽样检测,观察硅片表面的灰尘量,方便了解硅片的清洗情况。
基本信息
专利标题 :
一种检测硅片灰尘计数设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122696187.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-05
授权号 :
CN216208669U
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
刘里
申请人 :
东莞市奈斯精密仪器有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市东城街道狮长路3号3栋618室
代理机构 :
北京卓恒知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
李迪
优先权 :
CN202122696187.1
主分类号 :
G01N21/94
IPC分类号 :
G01N21/94 G01N21/01
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/94
研究污染,例如灰尘
法律状态
2022-04-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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