一种镀膜机用升降式基片台
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摘要
本实用新型公开了一种镀膜机用升降式基片台，属于真空镀膜机技术领域，包括内部中空且顶部开口的台体，所述台体的内部安装有通过升降气缸控制升降的基片放置架，所述台体的顶部开口左右铰接有盖板，所述盖板通过连杆结构与所述基片放置架连接，使所述基片放置架在升起时所述连杆结构推动所述盖板打开开口，所述基片放置架在下降时所述连杆结构拉动所述盖板关闭开口。通过基片放置架来固定待镀膜的基片，而基片放置架可从台体内伸出，方便基片的镀膜，镀膜完毕后基片放置架可再次收回台体内部，其中台体的盖板与基片放置架之间联动，使基片放置架在伸出时盖板打开，收回时盖板关闭，这样可以保护镀膜后的基片不被二次附着镀膜材料。
基本信息
专利标题 ：
一种镀膜机用升降式基片台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122716575.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-08
授权号 ：
CN216274350U
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
应世强应佳根
申请人 ：
南京丙辰表面技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市浦口区浦口经济开发区步月路9号-130
代理机构 ：
南京普睿益思知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张丽丽
优先权 ：
CN202122716575.1
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2022-04-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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