一种离子植入机真空泵装卸装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种离子植入机真空泵装卸装置，包括：底座，所述底座的上表面竖直地设有导向立柱；水平驱动滑块机构，滑动地设置在所述导向立柱上，所述水平驱动滑块机构与驱动单元相连接，所述驱动单元能够驱动所述水平驱动滑块机构沿所述导向立柱上下移动；装卸臂，安装在所述水平驱动滑块机构上，所述水平驱动滑块机构能够驱动所述装卸臂水平伸出或缩回，所述装卸臂的末端夹持有真空泵；行走支撑机构，设置在所述底座上。本实用新型能实现真空泵的自动化搬运、具有方便装卸、劳动强度小、劳动效率高等优点。
基本信息
专利标题 ：
一种离子植入机真空泵装卸装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122804103.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-16
授权号 ：
CN216229169U
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
彭代全徐康褚书明周孝潘家英彭雅琴
申请人 ：
上海裕诗实业有限公司
申请人地址 ：
上海市松江区新松江路1800弄3号
代理机构 ：
上海伯瑞杰知识产权代理有限公司
代理人 ：
耿悦
优先权 ：
CN202122804103.1
主分类号 ：
B25B27/14
IPC分类号 ：
B25B27/14
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25B
不包含在其他类目中的用于紧固、连接、拆卸或夹持的工具或台式设备
B25B27/00
不包含在其他类目中的，专门适用于有变形或无变形零件或物品的装配或分离的手动工具或台式设备
B25B27/14
用于装配或卸下非压配合的物件
法律状态
2022-04-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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