一种超声波振荡显影及蚀刻循环液活化处理装置
授权
摘要
本实用新型公开一种超声波振荡显影及蚀刻循环液活化处理装置，包括：分离罐、安装在所述分离罐上的至少两根电解棒、超声波发生器、连接在所述分离罐底部的残渣收集箱，所述分离罐与所述残渣收集箱之间设置有排渣阀门；所述分离罐内设置有容纳腔，所述容纳腔与所述残渣收集箱相连通，所述电解棒的电解端伸入至容纳腔内，所述超声波发生器安装在所述容纳腔内。本实用新型通过超声波发生器配合电解棒进行作用，可有效的激活循环液，无需添加还原液，即可将循环液的活性还原如初，有效降低生产成本，实用性强。
基本信息
专利标题 ：
一种超声波振荡显影及蚀刻循环液活化处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122872318.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-19
授权号 ：
CN216561393U
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
胡青徐杰李哲轩
申请人 ：
迈达微（深圳）半导体技术有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区福海街道稔田社区大洋路90-10号101
代理机构 ：
深圳市中科创为专利代理有限公司
代理人 ：
杨春
优先权 ：
CN202122872318.7
主分类号 ：
G03F7/30
IPC分类号 ：
G03F7/30 C25C7/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/30
用液体消除影像的
法律状态
2022-05-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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