一种磁控异形镀膜翻转工装
授权
摘要

本实用新型公开了一种磁控异形镀膜翻转工装,包括镀膜机本体和辅助机构,镀膜机本体的内部设有翻转环,翻转环的两侧均对称设有定位机构,辅助机构包括安装环,安装环固定连接于翻转环的背面,安装环的一侧开设有条形通孔,条形通孔的内腔滑动套接有辅助板,安装环内壁的一侧开设有条形槽,辅助板的一侧与条形槽的内腔活动套接,辅助板的一侧固定连接有U型拉环。本实用新型利用安装环和辅助板的设置,通过安装环将辅助板安装在翻转环的一侧,从而对定位中的基材起到辅助支撑的作用,提高了基材定位工作的便捷性。

基本信息
专利标题 :
一种磁控异形镀膜翻转工装
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122991032.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-01
授权号 :
CN216337929U
授权日 :
2022-04-19
发明人 :
曹廷位侯宜明
申请人 :
苏州普提勒新材料科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市相城区黄埭镇东桥爱民路6号
代理机构 :
苏州六一专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
韩京朋
优先权 :
CN202122991032.0
主分类号 :
C23C14/50
IPC分类号 :
C23C14/50  C23C14/35  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2022-04-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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