一种针对柔性材料等离子清洗腔体结构
授权
摘要
本实用新型公开了一种针对柔性材料等离子清洗腔体结构，包括：所述真空腔体内设有治具架；所述治具架底部两端设有多组绝缘卡槽，相邻绝缘卡槽之间设有支撑杆；所述绝缘卡槽间隔设有电极正极和电极负极；每个所述电极正极和电极负极内均设有两组水冷电极，其一为进口，另一为出口；所述水冷电极连接有导电铜板；所述导电铜板设有屏蔽盒；所述真空腔体顶部设有真空门，底部贯穿真空腔体设有真空管，所述真空门朝向治具架的一面设有气管；本实用新型通过在电极中设置水冷电极管路，对电极进行循环水冷，有效的解决散热问题。
基本信息
专利标题 ：
一种针对柔性材料等离子清洗腔体结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123115515.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-13
授权号 ：
CN216671553U
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
郭峰王宇陈晓明
申请人 ：
昆山普乐斯电子科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市巴城镇东盛路298号
代理机构 ：
南京纵横知识产权代理有限公司
代理人 ：
董建林
优先权 ：
CN202123115515.0
主分类号 ：
H01J37/04
IPC分类号 ：
H01J37/04 H01J37/20 H01J37/32 B08B7/00 F25B41/40
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置
法律状态
2022-06-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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