应用高方阻选择性发射极技术的太阳能电池片的制备装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种应用高方阻选择性发射极技术的太阳能电池片的制备装置，包括连接有氮气通路和氧气通路的管式扩散炉，所述的氮气通路包括第一氮气通路和第二氮气通路，第一氮气通路直接与管式扩散炉相连，第二氮气通路和管式扩散炉之间设置有两条支路，其中一条支路直接与管式扩散炉相连，另一条支路与管式扩散炉之间设置有磷源。本实用新型可以将太阳能电池片扩散后的方阻由125‑140/sq，提升至150‑170Ω/sq，具体结果根据使用的扩散炉会有所不同,开压提升1毫伏，效率提升0.05%以上。
基本信息
专利标题 ：
应用高方阻选择性发射极技术的太阳能电池片的制备装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123146065.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-15
授权号 ：
CN216698398U
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
张凤鸣吴仕梁路忠林王奎
申请人 ：
南京日托光伏新能源有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市浦口区桥林街道工业园区兰花路28号-10
代理机构 ：
江苏圣典律师事务所
代理人 ：
韩天宇
优先权 ：
CN202123146065.1
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L21/225 H01L31/068 C30B31/18 C30B31/16 C30B29/06
法律状态
2022-06-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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