一种58片可以左右切换的花篮顶齿机构
授权
摘要
本实用新型涉及硅片的生产技术领域，具体是一种58片可以左右切换的花篮顶齿机构,包括支撑板、矩形壳体、一号板和左右移动机构；所述支撑板的顶部固接有安装板，所述安装板固接在机架上；所述矩形壳体固接在支撑板的侧壁；所述一号板滑动连接在矩形壳体的侧壁；所述左右机构包括伺服电机一、螺纹杆、连接板和二号板；所述伺服电机一固接在一号板靠近矩形壳体的一侧；所述伺服电机一的输出轴固接有带轮一；所述螺纹杆通过轴承座连接在一号板的侧壁；所述螺纹杆的一端套设且固接有带轮二；这个机构可以灵活实现左右横移，一号板的上升和下降送走硅片，接取硅片，完成对花篮槽中两列硅片的摆放。
基本信息
专利标题 ：
一种58片可以左右切换的花篮顶齿机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123272597.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-23
授权号 ：
CN216719896U
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
吴廷斌张学强张建伟罗银兵顾正亚
申请人 ：
罗博特科智能科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202123272597.X
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 F16F15/04
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2022-06-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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