本发明属于晶圆加工设备技术领域，特别提供了一种晶圆脱环机。其主要包括机体框架、供电及负压组件、纵向移动模组、主升降模组、吸盘、操作臂、升降台；其中，操作臂包括托架、直驱电机、导轨、滑块、校准定位块、丝杠电机、伸缩机构、脱环滚轮、直角支架。本设备将晶圆与升降台的同心度校准机构和晶圆外环脱环机构集成于一个操作臂上，解决晶圆与脱环结构不同心导致高概率破片情况；主升降模组统一调整多个校准定位块的高度；在脱环机整个工作流程中，仅工件的取放和定期清理废料工作需要操作人员手动完成，其余操作设备均可自动完成。整机自动化程度高，降低人为误操作风险的同时降低人力成本。