再生蚀刻机或PECVD设备的衬里的方法
实质审查的生效
摘要
本申请涉及再生蚀刻机或PECVD设备的衬里的方法，该方法包括以下连续步骤：（a）用软质擦拭物对所述衬里的表面进行湿式研磨；（b）任选地，在40‑60℃下，用中性脱脂剂清洗所述衬里的表面；（c）任选地，在40‑60℃下，用浓度为0.05重量%‑5重量%的柠檬酸溶液清洗所述衬里的表面；和（d）干燥所述衬里的表面。本申请能够实现简化蚀刻机或PECVD设备的衬里的再生工艺、提高其再生次数并有效降低生产成本。
基本信息
专利标题 ：
再生蚀刻机或PECVD设备的衬里的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114405918A
申请号 ：
CN202210031877.1
公开（公告）日 ：
2022-04-29
申请日 ：
2022-01-12
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘晓刚黄来国刘超李仁杰蔡广云方斌
申请人 ：
合肥微睿光电科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市新站区九顶山路以东、珠城路以南
代理机构 ：
安徽知问律师事务所
代理人 ：
王亚军
优先权 ：
CN202210031877.1
主分类号 ：
B08B3/08
IPC分类号 ：
B08B3/08 B24B23/02 B24B55/02 C23C16/50 C23C16/54 H01J37/32
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/08
具有化学作用或溶解作用的液体
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B08B 3/08
申请日 : 20220112
申请日 : 20220112
2022-04-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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