本发明涉及器件检测技术领域，公开一种器件检测系统及其方法。其包括：计算机、控制箱、扫描器、CCD相机、相机光阑和检测器，计算机安装有配套器件检测系统的操作软件，器件为具有缩放口径的器件，操作软件设有端口设置模块，端口设置模块通过计算机电连接控制箱，且端口设置模块用于驱动控制箱，计算机通过数据信号线电连接控制箱，控制箱通过数据收发线电连接扫描器，控制箱通过数据采集线电连接CCD相机，控制箱通过数据电线电连接检测器，检测器电连接器件，器件的表面形貌通过CCD相机进行图像采集，且采集的图像显示出器件的缩放口径的变化，扫描器用于读取器件的局部形貌信号。该检测系统实现对检测器件的精确采集，解决被检测器件检测问题。